Echtzeit-Gasanalyse im ppb-Bereich.Meßprinzip und Features:
Ionen Mobilitäts Spektrometrie (IMS):
Multipoint Analysatorsystem AirSentry Überwachung von bis zu 60 Probenstellen, Meßbereich 0,1 – 100ppb,
bis zu 5 Gaskomponenten mit einem System.
Meßbare Gase:
Ammoniak, Gesamt-Amine, NMP, SO2, Gesamt-Säuren, HF, HCl, Cl2, Siloxan,
photochemische organische Kontamination und viele andere.
Singlepoint Analysator AirSentry II
Mobiler Point-of-Use Analysator für die kontinuierliche Überwachung kritischer Bereiche im Reinraum,
Echtzeitanalyse, hohe Anzeigegeschwindigkeit
Meßbereich 0 – 50ppb, Empfindlichkeit bis 70ppt.
Meßbare Gase:
Ammoniak, Gesamt-Amine, Gesamt-Säuren.
Datenübermittlung via Ethernet-Schnittstelle an die zentrale Softwareplattform Facility Net zur Auswertung
Surface Acustic Wave (SAW):
Überwachung der Molekularen Oberflächenkontamination mit einer
Nachweisgrenze von 0,003ng/cm_/Hz.
Anwendung:Photolithographie, Deep Ultra Violet Lithography (DUV), Reinraum-Luftüberwachung, Airborne Molecular Contamination (AMC)
Weitere Spezifikationen und Datenblätter auf Anfrage |
